X射線熒光光譜分析（X Ray Fluorescence）：通常把X射線照射在物質上而產生的次***X射線叫X射線熒光（X—Ray Fluorescence），而把用來照射的X射線叫原***X射線，通過分析次***X射線的方法叫做X射線熒光光譜分析。利用X射線熒光原理，理論上可以測量元素周期表中的每***種元素。在實際應用中，有效的元素測量范圍為11號元素（Na）到92號元素（U）。
***臺典型的X射線熒光光譜分析（XRF）儀器由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（***次X射線），激發被測樣品。受激發的樣品中的每***種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器通過軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。作為***種元素分析技術，現在已完全成熟，已廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域。
目前X射線熒光光譜分析儀分為波長色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）兩種，以下是它們原理構造圖：
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