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PICOSUN P-300S Pro ALD
 

技術參數

襯底尺寸和類型 ：300mm晶圓/單片

工藝溫度： 50 - 500 °C

基片傳送選件：。 半自動裝載，用單片Load lock與磁力操縱桿實現
         。25片晶圓盒對盒式全自動裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™ 300集群系統實現

標準 ：SEMI S2認證

前驅體：。液態，固態，氣態，臭氧源
     。等離子體（僅供200mm晶圓使用，*多4路氣體）
     。前驅源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務
     。6條獨立源管線,*多加載8個前驅體源（*多12個前驅體源，加上plasma管路共7根獨立源管線）

重量：820 kg

尺寸：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

選件： 集群工具，PICOFLOW™擴散增強，N2發生器，尾氣處理，定制設計，與工廠軟件連接服務。

驗收標準 ：。標準設備驗收標準為Al2O3工藝，
        。其他工藝可具體協商：其他工藝、應用具體驗收標準如：
            - 不均勻性
            - 顆粒物含量
            - 重金屬污染
            - 電學性能