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標準型原子層沉積機ALD

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:PICOSUN R-200

狀  態:正常點擊量:1454

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上海非利加實業有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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 PICOSUN™ R-200標準型ALD 

技術參數 

。襯底尺寸和類型 50-200 mm /單片 
。156 mm x 156 mm太陽能硅片 
。3D 復雜表面襯底 
。粉末與顆粒 
。多孔,通孔,高深寬比(HAR)樣品 
。工藝溫度 :50 - 500 °C , 可選更高溫度 
。基片傳送選件 :氣動升降(手動裝載) ,預真空室安裝磁力操作機械手(Load lock ) 
。前驅體 液態、固態、氣態、臭氧源 ,4根獨立源管線,*多加載6個前驅體源 
。重量 :350 kg 
。尺寸: (W x H x D) 取決于選件 
-*小146 cm x 146 cm x 84 cm 
-189 cm x 206 cm x 111 cm 
。選件 :PICOFLOW™擴散增強器,集成橢偏儀,QCM, RGA,N2 發生器,尾氣處理器,定制設 計,手套箱集成(用于惰性氣體下裝載) 
。驗收標準 :標準設備驗收標準為 Al2O3工藝

   

PICOSUN™ R系列設備提供高質量ALD膜的沉積技術,并在各種各樣的襯底上都表現極佳的均勻性,包括*具挑戰性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。 
我們為液體、氣體和固體化學物提供的更高***的,易更換的前驅源系統,能夠在晶圓、3D樣品和各種納米特性的樣品上生長顆粒度*小的薄膜層。 在*基本的PICOSUN™ R系列配置中可以選擇多個獨立的,完全分離的源入口匹配多種類型的前驅源。
    
  

產品參數


產品介紹



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