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美國 OAI 自動化邊緣曝光系統

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:2012SM

狀  態:正常點擊量:1184

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上海非利加實業有限公司

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OAI 2012SM 自動化邊緣曝光系統
 
詳細介紹

自動化邊緣曝光系統

模型2012SM


2012SM型自動邊緣曝光系統為使用標準陰影掩模技術的邊緣珠去除提供了***種經濟高效的方法。 設計用于容納8“到300mm的晶片,該工具具有自動FOUP裝載。 掩模和基材切換可以快速且容易地實現,從而增加該生產工具的通用性和高產量。


Automated Edge-Bead Exposure System

Model 2012SM

The Model 2012SM Automated Edge-bead Exposure System
provides a cost-effective method for edge-bead removal using standard shadow
mask technology. Designed to accommodate wafers from 8” to 300mm, the tool features
automated FOUP loading. Mask and substrate changeover can be accomplished
quickly and easily adding to both versatility and high-volume throughput of
this production tool.



 


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產品介紹



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