EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-05-31 15:31
品 牌：其他型 號：EMS 550/EMS 500
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EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀
性能特征：
旋轉且可傾斜樣品臺
高質量鍍層厚度（2nm 金膜）
精確的可重復性能
均勻沉積厚度
復合樣本固定器
全自動控制
低耗冷卻系統，無需冷卻樣本及樣品臺
低壓濺射
20nm（或20埃）
微電子控制
聚碳酸酯安全殼體
產品參數
EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀
儀器參數：
儀器尺寸 | 450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H） |
工作腔室 | 硼硅酸鹽玻璃: 165mm（Dia.） x 125mm（H） |
安全罩 | 聚碳酸酯 |
重量 | 18Kg |
靶材 | 60 mm 直徑 x 0.1mm 厚（金靶為標準靶材） |
樣品臺 | 60mm（Dia.） ，靶面距在25mm－45mm之間可調 |
真空泵工作范圍 | ATM-1x10-2 mbar |
濺射電流 | 0-50mA |
濺射鍍膜時間 | 0-4 minutes |
沉積速率 | 0-25nm/分 |
電源配置 | 230 volts 50Hz （6 amp Max incl pump） |
產品信息：
貨號 | 產品名稱 | 規格 |
91000 | EMS 550 Sputter Coater complete with Target | 臺 |
91000-MA | EMS 500 Manual Sputter Coater | 臺 |
91005 | Rotary Vacuum Pump
Targets 60mm （Dia.） x 0.1mm （Thick） fitted inclusive as standard | 個 |
產品介紹
EMS 550本儀器為全自動操作，可控制獨立的真空泵。
滬公網安備31011502016460號
