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微位移測量激光干涉儀ZLM800

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 09:17

品  牌:型  號:

狀  態:正常點擊量:1407

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產品功能
    ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數控機床幾何量的測量等,*多可實現六軸聯動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關系測量檢測物體的振動變化。

性能優勢 技術參數

型號:ZLM800
使用高性能PCI或單片機式數據處理器
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩頻精度:
***小時2x10-9±0.002ppm
壽命內2x10-8±0.02ppm
系統精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm可選3.2mm
激光管突發輸出功率:
5mW (激光等***2)
每束光可測量的軸數:
*多6
線性測量距離:
2m
角度測量范圍:
± 3.5'
速度:
2m/s
加速:
無限制
采樣頻率:
內部1MHz,外部40MHz
預熱時間:
10分鐘
位移測量分辨率:
1.25nm
位移測量精度:
±0.4ppm (μ/m)
角度測量分辨率:
0.003μrad
角度測量精度:
±0.1ppm實測值
數據接口:
積分信號
32 Bit (
實時時間
Dt » 20 ns
數據分析標準:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

應用案例

l          真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區別,眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩***雙頻激光干涉儀的生產商,德***耶拿爾公司是其中的******。
l          全部部件皆在德***生產制造,絕非為了降低成本而在第三方******進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上******將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l           激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩頻精度高,***小時內為±0.002ppm,在產品壽命內可達±0.02ppm
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統精度更高,可達±0.4ppm
l          計算機輔助光路調整,調整結果更準確。
l          采樣頻率更快,達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l          被測物體速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數據處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。
l          無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩定。
l          信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量,ZLM800型是理想的選擇


 

以下是為中***科學院某項目設計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應用案例。在個案例中,用兩個3軸角度干涉儀分別監視兩個擺鏡的擺動,實時測試兩個擺鏡對應量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個案例中,用***個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況,2個單軸位移干涉儀檢測***個兩軸位移平臺的運動情況。


 
 
下述案例是為***內某研究所某項目設計的ZLM800測量系統。用戶預先把被測物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數據是被監視目標Ⅰ、被監視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。


ZLM800部分光路圖示例


從X、Y和Z方向同時測量被測物體的位移,其中X和Y在***個水平層面上

從X、Y和Z方向同時測量被測物體的位移,其中X和Y不在***個水平層面上

在水平方向同時測量出被測物體的位移、偏擺和俯仰角度變化(上圖)
 
在垂直方向同時測量出被測物體的位移、偏擺和俯仰角度變化(上圖)
 
 
同時從X和Y方向測量被測物體的位移變化(上圖)
 
同時從X和Y方向測量運動平臺兩個層面的位移變化(上圖)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的角度的變化(1)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化(2)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化(3)


資料下載
復雜光路測量的應用.pdf
系統應用簡介.pdf

 
 
如果用戶有更復雜的光路需求,歡迎來電垂詢!
 

產品參數


產品介紹



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