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雙折射應(yīng)力儀

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-18 16:40

品  牌:型  號:WPA-200L

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1278

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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PHL雙折射測量儀

PHL PA-110-T大面積應(yīng)力雙折射測量儀概述:

     日本Photonic-lattice公司成立于1996年,以日本東北大學(xué)的光子晶體的研究技術(shù)為核心,成立的合資公司,尤其是其光子晶體制造技術(shù)世界,并由此開發(fā)出的測量儀器。 

主要產(chǎn)品分四部分:

  • n 光子晶體光學(xué)元件;

  • 雙折射和相位差評價(jià)系統(tǒng);

  • 膜厚測試儀;

  • 偏振成像相機(jī)。

相位差』『雙折射』『內(nèi)部應(yīng)力』測量裝置 WPA/PA系列

  • 快速定量測量透明材料和薄膜2維平面內(nèi)的

  • 相位差、雙折射和內(nèi)部應(yīng)力應(yīng)變分布

PA/WPA系統(tǒng)特點(diǎn):

  • 操作簡單/快速測定:獨(dú)特的偏振成像傳感器進(jìn)行簡單的和快速的操作即可測量相位差的分布

  • 2D數(shù)據(jù)的多方面分析功能:二維數(shù)據(jù)的強(qiáng)大分析功能,能夠直觀解釋被測樣品的特性。

  • 大相位差測試能力(WPA系列):通過對三組不同波長的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算,WPA系統(tǒng)可以測量出幾千nm范圍內(nèi)的相位差。

          偏光圖像傳感器的結(jié)構(gòu)和測試原理

         

PHL PA-110-T大面積應(yīng)力雙折射測量儀器

PA-110-T可以對8英寸以上的樣品測量雙折射參數(shù),在藍(lán)寶石,SiC晶片等晶體缺陷方面具有廣泛應(yīng)用。藍(lán)寶石或SIC等透明晶圓的結(jié)晶缺陷,會(huì)直接影響到其產(chǎn)品性能,故缺陷的檢出和管理,是制程中不可欠缺的重要環(huán)節(jié)。

 

到目前為止,產(chǎn)線上的缺陷管理,多是使用偏關(guān)片,以目視方式進(jìn)行缺陷檢查。但是,這樣的檢查方式,因無法將缺陷定量化,當(dāng)各批量間產(chǎn)生變動(dòng)或缺點(diǎn)密度緩慢增加時(shí),就無法以目視檢查的方式正確找出缺陷。

 

PA-110-T,將特殊的高速偏光感應(yīng)器與XY Stage組合起來,φ8inch晶圓僅需5分鐘,即可取得整面的雙折射分布資料。

 

藉由定量化的結(jié)晶缺陷評估,提高生產(chǎn)品質(zhì)的穩(wěn)定性。

 

PHL PA-110-T大面積應(yīng)力雙折射測量儀器特點(diǎn):

 

使用PA-110-Rasterscan軟體,操作簡單,可進(jìn)行精細(xì)的拼貼測量。

 

l XY自動(dòng)Stage&拼貼功能

針對大尺寸的Wafer數(shù)據(jù),以拼貼方式自動(dòng)合成。

 

l 使用大口徑遠(yuǎn)心境頭

以垂直光線進(jìn)行量測,因不受視覺影像,連書面周邊區(qū)域都可高精度測量。

 

PHL PA-110-T大面積應(yīng)力雙折射測量儀器原理:

 

l 當(dāng)光穿透具有雙折射特性的透明物質(zhì)時(shí),光的偏光狀態(tài)會(huì)產(chǎn)生變化(光彈性效果)。換句話說,比較光穿透物體前之后的偏光狀態(tài),即可評估物質(zhì)的雙折射。

 

l 該設(shè)備裝配的偏光感應(yīng)器,使用了敝公司特有的Photonic結(jié)晶組裝而成,能瞬間將偏光資訊以影像方式提取保存。再搭配專屬的演算、畫像處理軟件,能將雙折射分布數(shù)據(jù)定量化,變成可以分析的資料。

 

PHL PA-110-T大面積應(yīng)力雙折射測量儀器技術(shù)指標(biāo):

 

型號

PA-110-T

測量范圍

0-130nm

重復(fù)性

<1.0nm

像素?cái)?shù)

1120x868

測量波長

520nm

尺寸

650x700x683mm

觀測到的面積

8英寸

自身重量

70kg

數(shù)據(jù)接口

千兆以太網(wǎng)(攝像機(jī)信號),RS-232C

電壓電流

AC100-240V(50/60Hz)

軟件

PA-View



產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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