日立高分辨型雙束系統NX5000
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-01-18 15:23
品 牌：型 號：NX5000
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產品介紹：
NX5000新型高分辨FIB-SEM雙束系統采用冷場發射電子槍和全新的Aquila α鏡筒，具有高分辨的觀察能力；同時大束流的離子槍和實時觀察功能使其具有超高的加工效率。獨特的第三束（Ar）加工可以避免樣品損傷，為超薄樣品和復雜的制備提供了新的解決方案，可以滿足納米材料、半導體材料、生物材料等多種樣品的快速、無損、精細加工。
主要特點：
1. 高分辨冷場發射電子槍，實現高分辨觀察（0.7nm@15kV）
2. 全新的Aquila α鏡筒和多探測器實現不同觀察目的
3. 大束流（100nA）、高穩定性離子槍實現快速加工
4. 實時觀察、多探針系統和7軸樣品臺等技術有效防止窗簾效應
5. 第三束Ar的引入實現無損和超薄樣品的加工
6. 多種沉積氣體可選
7. 全自動TEM樣品制備
應用領域：
納米材料微加工
半導體及電子元器件加工
生命科學
滬公網安備31011502016460號
