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日本JEOL熱場發射掃描電子顯微鏡

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-18 15:00

品  牌:型  號:JSM-7610F Plus

狀  態:正常點擊量:1991

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日本JEOL熱場發射掃描電子顯微鏡 JSM-7610FPlus 

 

· 廣受好評的JSM-7610F的光學系統經過改進,實現了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進***步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統,提供穩定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。

                  

 

產品規格:

  

    

 

產品特點:

廣受好評的JSM-7610F的光學系統經過改進,實現了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進***步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統,能提供穩定的高空間分辨率觀察和分析。

此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。主要特點如下:

 

◇ 半浸沒式物鏡

 

半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場,因而可以獲得超高分辨率。

 

   

 

◇ High Power Optics

High Power Optics 是獨特的電子光學系統,既實現了高倍率觀察又能進行多種分析。

        

 

 

浸沒式肖特基場發射電子槍,可以獲得10 倍于傳統肖特基場發射電子槍(FEG)的探針電流,*佳光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時也能保持小束斑,兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統,從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以***直使用高分辨率的*小物鏡光闌而不需要改換。

 

浸沒式肖特基場發射電子槍|   

 

     

 

浸沒式肖特基場發射電子槍通過和低像差聚光鏡組合,可以有效地收集從電子槍內發射的電子。

 

*佳光闌角控制鏡(ACL)

*佳光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,在整個探針電流范圍內自動優化物鏡光闌的角度。因此,即使照射樣品的探針電流很大,與傳統方式相比,也能獲得很小的電子束斑。

 

   

 

即使探針電流很大,束斑直徑也很小

          

 

長時間分析時穩定度也很高

浸沒式消特基場發射電子槍能獲得穩定的電子探針


   

 

◇ 柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

 柔和的電子束模式(GB模式)通過給樣品添加負電壓,從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓,因此可以在低加速電壓下(100V)進行高分辨觀察。

由于電子束在樣品中散射區域減小,就會容易地觀察樣品淺表面的精細結構,能減少對熱敏樣品的的損傷,可以直接觀察非導電性樣品。

JSM-7610Plus 在GB模式下(1KV)的分辨率為1.0nm

 

GB 模式的效果

 

GB 模式在低電壓下提高分辨率

左圖***般模式,右圖GB模式

 

  

 

 

增強了的低加速電壓下的分辨率


  

 

 

◇ r-過濾器

新***代 r-過濾器 是由二次電子控制電極,背散射電子控制電極,過濾器電極組合而成的獨特的能量過濾器。當電子束照射樣品時,從樣品表面會釋放出各種能量的電子,新***代r-過濾器 通過組合多個靜電場使電子束保持在透射系統的中央,同時還對樣品中產生的二次樣品和背散射電子進行選樣和檢測。

新***代 r-過濾器*多能獲得3倍于舊機型的信號量。

   

 

新***代 r-過濾器 檢測信號的方法

 

◇ LABE檢測器(選配件)

     LABE(Low Angle BE)檢測器能檢測低角度背散射電子。在低加速電壓下對樣品表面精細的形貌信息,在高加速電壓下對樣品的組分信息都能進行高分辨觀察。

      

 

利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像



 

◇ 擴展性

 

能譜儀(EDS)

High Power Optics 能充分發揮EDS(SDD)檢測器的特長,即使探針電流很大,也不容易飽和。使用低加速電壓,大探針電液能在短時間內獲取清晰的面分布圖。下面的圖像顯示了在2分針內可以對鎳基板表面上極薄的石墨烯薄膜進行分析。

  

使用基本型SDD nm2 檢測器也能在短短的30秒鐘內測試100nm厚的多層膜截面。

   

 

波譜儀(WDS)

由于High Power Optics 在大探針電流時也能提供很小的電子束斑,因此能充分發揮WDS的特長,使用WDS可以確認用EDS判斷的樣品的濃度差等。

   

 

陰極熒光系統(CL)

陰極熒光是電子束照射樣品時產生的發光現象,從樣品中發出的光經拋物面反射鏡(聚光鏡)聚焦后被檢測出來。

下面的數據是金剛石(1KW)的二次電子圖像和用衍射光柵獲得的CL像。用低加速電壓觀察CL像,可以在高分辨率下觀測到金剛石的表面缺陷。
 

     

 


產品參數


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