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K1050X等離子清洗刻蝕灰化儀

價  格:詢價

產  地:英國更新時間:2021-02-26 15:37

品  牌:Quorum型  號:K1050X

狀  態:正常點擊量:2001

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上海非利加實業有限公司

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K1050X等離子清洗刻蝕灰化儀

特點:
● 固態射頻發生器及調諧電路
● 全自動控制
● 抽屜式結構
● 兩種處理氣體
● 緊湊的臺式系統
優點:
● 低溫灰化過程
● 易操作
● 裝/卸樣品方便
● 可選擇不同的混合氣體
● 節省空間
● 注:我們建議使用RV3防爆泵,它具有“專用的油”。


產品參數

K1050X等離子清洗刻蝕灰化儀

儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 重量:25Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸鹽玻璃作為標準配置)
拉出式抽屜:樣品托盤為抽拉式
等離子輸出:射頻電源-固態100瓦,通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
真空測量范圍:真空顯示ATM - 10-2mbar全刻度-通常操作真空為0.5mbar到1.0mbar
數字計時單元:99.9小時選擇范圍時間顯示。在灰化過程結束后自動終止。
雙氣體流控制:雙氣體針閥控制,可選1或2或兩種氣體
電源:230V 50Hz (包括泵最大電流5 Amp);115V 60Hz(包括泵最大電流10 Amp)
Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵:No. 3 泵 (with a synthetic oil ''''''''''''''''''''''''''''''''Fomblin'''''''''''''''''''''''''''''''' for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr


產品介紹

K1050X等離子清洗刻蝕灰化儀

K1050X等離子處理單元由固態射頻發生器結合調諧電路組成,同時兩種處理氣體流量針閥監控,全部或部分通氣口控制。
它的腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統,方便使用。
真空系統為旋轉機械泵或可選用膜片泵作為前***真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應用時,可方便更換抽屜式抽拉系統。
此系統通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機物質(碳氫化合物),氬對樣品表面進行刻蝕。
應用:
● 石棉試樣制備
● 有機材料微觀灰化,煤的灰化
● SEM&TEM中有機樣品刻蝕
● 去除光刻膠及電子元件中的包膠
● 塑料品的表面處理
● SEM/TEM中的樣品夾清洗

● 煤的灰化




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