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壓縮比

N2

>1 x 10E8

He

4 x 10E5

H2

1.6 x 10E4

出口法蘭

DN25NW

級間口（Hi型）)

DN25NW

前級泵（推薦）

RV3

放氣口

1/8 inch BSP 母螺紋

吹掃凈化口

1/8 inch BSP 母螺紋

最高入口壓力（抽輕氣體） *

水冷（水溫15°C，大氣溫度40°C）

5 x 10E-3 mbar

空冷（大氣溫度35°C）

5 x 10E-3 mbar

額定轉速

60000 rpm

工作轉速

33000～60000 rpm （缺省 42000 rpm）

轉速達到90%所需時間 **

80 s

冷卻方式

空冷/水冷

大氣溫度（空冷）

5-35 °C

冷卻水最低流速（水溫15 °C）

15 l/h

水溫范圍

10-20 °C

入口法蘭最高溫度

TBA

工作姿態

垂直

噪音（1m處）

<50 dB(A)

最大磁場

5 mT

控制器（推薦）

TIC200 渦輪控制器或TIC200渦輪儀表控制器

靜止功耗

25 W

級間泵速（Hi型）

10 l/s

泵速 ***

N2

220 l/s

He

230 l/s

H2

180 l/s

極限真空（mbar）

前級泵選用選片泵

<5 x 10E-9

前級泵選用隔膜泵

<5 x 18E-8

重量

6.25 kg