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FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I質量流量控制器OMEGA

130+氣體校準，包括純氣體和混合氣體

同時顯示壓力、溫度和質量流量

按鍵界面操作簡單

NIST可追溯性標準

0.5 SCCM~500 SLM滿量程范圍

典型響應時間為50~100 ms

調節(jié)比為200：1

位置不敏感

±0.8%讀數(shù)精度

RS232標準

自定義實時氣體混合編程

***多可存儲20種用戶定義的氣體混合物

FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I質量流量控制器OMEGA

精度：±(0.8%讀數(shù) + 0.2% FS)

重復性：±0.2% FS

調節(jié)比：200:1

控制響應時間：100 ms

輸入控制信號：0~5 Vdc, RS232

輸出信號：0~5 Vdc, RS232

可選輸入/輸出：4~20 mA, 0~10 Vdc

工作溫度：-10~50°C（14~122°F）

零點漂移：0.02%/ATM FS/°C

量程漂移：0.02%/ATM FS/°C

濕度范圍：0~100% RH, 無冷凝

附加流速：2.4% FS

接濕材料：標配：303和302 SS，F(xiàn)KM，硅樹脂TRV（橡膠），玻璃增強尼龍，鋁，黃銅，410 SS，硅樹脂，玻璃；>250 SLM：416 SS和鎳替代黃銅

-LSS（選項）：316LSS，303SS，430FRSS，全氟彈性體標準，F(xiàn)KM，EPDM，丁納橡膠，氯丁橡膠 最大壓力：50 psig

在體積模式下使用：近大氣壓，建議最大值為15 psig。體積流量計和控制器未針對質量流速高于流量計額定流量范圍的情況進行精度認證。它們僅適用于接近大氣壓的條件。 最大工作壓力建議為15 psig

電源電流：20 SLM及以下為0.250 A；50 SLM及以上（典型值）為0.75 A

電源電壓：2 SLM及以下設備為15-30 Vdc；5 SLM及以上設備為24-30 Vdc

電氣連接：8針圓形Mini-DIN"

FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I質量流量控制器OMEGA

***多可存儲20種用戶定義的氣體混合物

FMA-LP2600A系列質量流量控制器 在層流場中使用 差壓原理來檢測并控制質量流量。 流量計中的層流元件(LFE)迫使 氣體進入層流狀態(tài)（經過整流處理）。按照泊肅葉方程， 在這***區(qū)域體積流量 與壓降呈線性 關系。使用差壓傳感器 測量LFE固定距離的 壓降情況。同時結合氣體的粘度 準確判定體積流量。 引入單獨的絕對溫度和壓力傳感器， 并根據(jù)***系列標準條件 修正氣體流量。這種標準化 流量通常稱為質量流量， 使用標準立方厘米/分鐘(SCCM) 或標準升/分鐘(SLM)等 單位表示。

控制器使用真正的比例閥聯(lián)接到 流體，以便使用積分式 PID回路控制器來控制流量。標準設備包括 0 ~ 5V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232 通信。可從前端鍵盤或 通過RS232通信調整氣體 選擇功能和設定值。體積流量、質量 流量、絕對壓力以及溫度均可 通過RS232連接查看或記錄。 在距離為46m（150’）的同***串口連接上，同時***多可與26臺設備進行多點通信。

OMEGA FMA系列質量流量計